激光保護(hù)液如何使用-羽杰科技
? ? ? 羽杰科技：羽杰科技： 在晶圓切割過程中，通過涂覆一層特殊的激光切割保護(hù)液材料在晶圓表面，形成一層保護(hù)膜。這層膜 的主要功能是防止切割刀具對晶圓表面造成劃傷和碎裂，并且可以減少切割過程中產(chǎn)生的粉塵。那么激光切割保護(hù)液如何使用？
? ? ??激光切割保護(hù)液參考使用方法： 在待切的產(chǎn)品上通過旋涂的方式將激光切割保護(hù)液涂覆成膜， 旋涂參數(shù)為：1500～2000rpm，30sec， 加速度 ACC：1000； 旋涂后在室溫下保證在 3h 內(nèi)進(jìn)行激光切割，否則可能因為保護(hù)膜揮發(fā)過多，導(dǎo)致清洗 不凈。
? ? ? ?后續(xù)采用紫外光、紅外及綠光激光進(jìn)行切割。切割后采用二流體清洗，清洗時間為 2-5min，以不殘留保護(hù)膜為準(zhǔn)。
? ? ? ?紫外光切割參數(shù)：355nm 的紫外光切割兩道，劃片速度分別為 200mm/s 和 300mm/s，功率為 1.5W。?
? ? ? ?紅外光切割參數(shù)：1064nm 的紅外光切割一道，劃片速度為 220mm/s，功率為 8W。?
? ? ? ?綠光切割參數(shù)：532nm 的綠光切割三道，兩側(cè)的切割頻率、功率和速度分別為 1500KHz、 5W 和 200mm/s；中間的切割頻率、功率和速度分別為 1200KHz、4W 和 180mm/s。?
? ? ? ?注意事項：未使用完的保護(hù)液須將桶蓋擰緊，避免水分、油質(zhì)、灰塵混入， 影響加工品質(zhì)。?
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