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羽杰科技砷化鎵清洗劑YJ-WG400 | 半導(dǎo)體行業(yè)精密清洗解決方案 | RoHS認(rèn)證 高效無殘留


砷化鎵清洗劑

羽杰科技:砷化鎵清洗劑YJ-WG400是一款專門針對硅片,晶圓,半導(dǎo)體,光學(xué)玻璃類材質(zhì)打磨或研磨后吸附在金屬表面細(xì)小顆粒物的水基型清洗劑,配合超聲波清洗,能將吸附在金屬表面的顆粒物有效剝離,同時具有一定的除垢能力,能有效的出去表面的細(xì)微顆粒。

針對性去除硅片,晶圓,半導(dǎo)體,光學(xué)玻璃等表面的顆粒、有機物、金屬離子等污染物的水基清洗劑,清洗劑中的活性物質(zhì)可以吸附在硅片表面,使其長期處于易清洗的物理吸附狀態(tài),并在表面形成保護(hù)層,防止顆粒的二次吸附,能有效提高外延或擴散工序的成品率。


行業(yè)痛點:半導(dǎo)體制造的清潔挑戰(zhàn)

在半導(dǎo)體制造過程中,0.1微米級別的顆粒污染就可能導(dǎo)致芯片良率下降40%。傳統(tǒng)清洗劑存在三大技術(shù)瓶頸:

1.殘留風(fēng)險:有機溶劑易在晶圓表面形成靜電吸附層

2.金屬污染:含Cl離子的清洗劑導(dǎo)致MOS器件閾值電壓漂移

3.環(huán)保壓力:含氟表面活性劑不符合RoHS 2.0新規(guī)


YJ-WG400核心技術(shù)突破


羽杰科技通過三年研發(fā)攻關(guān),攻克了半導(dǎo)體清洗領(lǐng)域的三大難題:


雙重吸附體系


物理吸附(改性硅烷基團)+ 化學(xué)吸附(螯合劑)協(xié)同作用,顆粒去除效率提升37%


pH智能緩沖系統(tǒng)


獨創(chuàng)pH值自適應(yīng)技術(shù)(12±0.2),在40-70℃寬溫域保持穩(wěn)定清洗效能


納米級殘留控制


表面張力降至28mN/m,配合超聲波可實現(xiàn)Ra≤0.5nm的超潔凈表面


六大核心優(yōu)勢


高效潔凈:科學(xué)配方去除0.3μm以上顆粒,配合超聲波實現(xiàn)3D立體清洗,清洗良率可達(dá)99.5%以上


安全環(huán)保:通過RoHS 2.0、REACH法規(guī)認(rèn)證,VOC含量<100g/L


高效節(jié)能:清洗時間縮短40%,節(jié)水35%(循環(huán)使用≥5次)


兼容性強:適配硅/碳化硅/GaAs等多種基板,不腐蝕ITO導(dǎo)電膜


智能工藝:自動配比系統(tǒng)(1:10-30可調(diào)),溫度/時間數(shù)字化控制


成本優(yōu)勢

單片清洗成本較進(jìn)口產(chǎn)品降低38%


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操作流程:

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清洗 清洗? 漂洗 漂洗 漂洗 烘干

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應(yīng)用領(lǐng)域:

用于半導(dǎo)體芯片、硅片、元器件、薄膜技術(shù)中的玻璃和金屬表面浸漬、噴淋、超聲波的清洗。

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操作工藝:

??超聲波清洗:推薦兌水使用,最高兌水稀釋10-30倍;

??溫度:40-70℃;

??清洗時間:3-10分鐘,視情況可適當(dāng)縮短或延長清洗時間;

??使用方法:按固定比例將WG-400清洗劑與水混合攪拌均勻,加熱值設(shè)定溫度即可開始清洗;

??日常維護(hù):根據(jù)清洗產(chǎn)品數(shù)量及臟污程度,及時補充清洗劑原液,定時檢查純水設(shè)備及清洗設(shè)備過濾芯;

??更換周期:常規(guī)清洗1-3天左右更換,重負(fù)荷清洗每天更換;更換周期最長不得超過5天。

質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn):

產(chǎn)品符合中華人民共和國水基清洗劑標(biāo)準(zhǔn)JB/T 4323-2019

產(chǎn)品符合歐盟ROHS標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品包裝、貯存和運輸:

塑料桶包裝: 25KG/桶,非危險品易于儲存和運輸;

貯存期兩年,不能露天存放,防止 ?日曬雨淋

未使用完的清洗劑須將桶蓋擰緊,避免水分及雜質(zhì)混入。

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技術(shù)支持體系

1.7×24小時服務(wù)熱線:18300002010

2.遠(yuǎn)程診斷系統(tǒng):通過IoT設(shè)備實時監(jiān)測清洗參數(shù)

3.定制化解決方案:針對不同F(xiàn)ab廠提供專屬配方開發(fā)

立即行動:聯(lián)系我們獲取《半導(dǎo)體清洗工藝白皮書》及最新報價單


本資料是以羽杰科技認(rèn)為可靠的技術(shù)資料為基礎(chǔ)的,免費提供,僅有技術(shù)背景的人員參考,使用者應(yīng)自行處理并承擔(dān)由此引起的責(zé)任。由于使用條件超出本公司的控制范圍,對于與本資料有關(guān)的任何使用,本公司無法提供直接或暗示的保證,且不對使用本資料負(fù)任何法律責(zé)任。本文中所述的任何資料都不應(yīng)當(dāng)成使用上的許可或侵犯任何權(quán)力的建議。

本文標(biāo)題:砷化鎵清洗劑-羽杰科技

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